技術指標

V10FC-RC質量流量控制器

V10FC-RM質量流量控制器

量程范圍

小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM

控制范圍

控制器20：1

流量計20：1

準 確 度

流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃

線 性

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

100ms

10ms

數 字 量

RS232/485，MODBUS協議

模 擬 量

0～5V、4～20mA、1～5V

供電

12V/24V/±15V可選

工作溫度

0～50℃

工作壓力

工作壓差：0.03～0.5MPa

工作壓降：<0.01Mpa

*大耐壓

低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa

電氣連接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

溫度系數

±0.015%F.S/℃

底座材質

316L

密封材料

氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠

接 頭

VCR1/4;swagelokφ6