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產品名稱:布萊迪 高純凈型壓力表YTJ系列
布萊迪 高純凈型壓力表YTJ系列產品概述:
YTJ 高純凈型壓力表主要應用于半導體領域。產品根據潔凈度等級,可分為 (YTJA) A 級 (YTJB) / BA 級
(YTJE) / EP 級 3 種類型
◆ 根據使用特性可選擇 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的測壓元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR(M)、1/4VCR(F)等多種連接形式。
◆ 所有零部件都經過超聲波純水處理。
◆ 選用無氧真空室的高純氬氣保護焊接作業 。
◆ 產品經過嚴格的耐壓及氣密性檢測。氣密性可達到 1 × 10-10 Pa·m3/s。
◆ 測量范圍:-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度:1.5%;2.5%。
布萊迪 高純凈型壓力表YTJ潔凈度等級:
A 級
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
組裝調試:潔凈室(潔凈度 10000)
包裝:N2 氣體吹掃,密封包裝
BA 級
零件:(氣體接觸部位)機械拋光處理
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
潔凈度:等級 VI(ASME B40,1 Level)
組裝調試:潔凈室(潔凈度 10000 ISO Class4)
工作臺(潔凈度 100 ISO Class2)
包裝:N2 氣體吹掃,PET 袋真空密封包裝
EP 級
零件:(氣體接觸部位)電解拋光
清洗:藥液超聲波清洗,純水超聲波清洗
潔凈度:(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼
不可見微粒子數量 10 個以內。
組裝調試:潔凈室(潔凈度1000 ISO Class3)工作臺(潔凈度100 ISO Class2)
包裝:N2 氣體吹掃,PET 袋真空密封包裝
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